AusschreibungsRadar — Verfahrensauszug

Erstellt am 18.07.2026 13:32 · Quelle: https://ausschreibungsradar.com/ausschreibung/0e83c92c-29d9-43b1-9a04-e24e33f05070/

UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage

Notice-ID: 0e83c92c-29d9-43b1-9a04-e24e33f05070 · Procedure-ID: 41010780-0ebd-4b6b-9c94-0996779ccdf6

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Stammdaten

Auftraggeber
Technische Universität Ilmenau, Ilmenau
Veröffentlicht
05.03.2024
Frist (Submission)
10.04.2024
Notice-Typ
Ausschreibung
Verfahrensart
Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
CPV-Code
38000000 — Labor-, optische und Präzisionsgeräte
Branche
Bildung & Forschung
Geschätzter Wert
442.000 €
Rechtsgrundlage
EU-Oberschwelle

Beschreibung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion für die maskenbasierte deckungsgenaue Mehrebenenlithografie für 2,5- und 3-dimensionale Mikro- und Nanostrukturen auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb zu beschaffen.

Verfahrens-Bedingungen

Bürgschaft
erforderlich

Verfahrensverlauf — alle 2 Veröffentlichungen

Zuständige Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt, Weimar

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht zwingend die hier genannte.

Hinweis zur Verwendung: Dieser Auszug fasst die zum Erstellungszeitpunkt verfügbaren Daten zur Vergabe zusammen. Quelle der Daten ist oeffentlichevergabe.de (Beschaffungsamt des BMI), vermittelt durch AusschreibungsRadar. Der Auszug ist eine unverbindliche Aufbereitung öffentlich zugänglicher Bekanntmachungen und keine Urkunde im Sinne der ZPO. Für rechtsverbindliche Zwecke ist immer die Original-Bekanntmachung unter dem oben angegebenen Permalink heranzuziehen. Daten können sich nach dem Erstellungszeitpunkt geändert haben (Folgeversionen, Stornierungen, Korrekturen).