AusschreibungsRadar — Verfahrensauszug
Atomic Layer Deposition (ALD) System
Stammdaten
- Auftraggeber
- Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
- Veröffentlicht
- 27.10.2026
- Notice-Typ
- Vergabeergebnis
- Verfahrensart
- Offenes Verfahren
- CPV-Code
- 38000000 — Labor-, optische und Präzisionsgeräte
- Branche
- Bildung & Forschung
- Rechtsgrundlage
- EU-Oberschwelle
Beschreibung
Das Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (WMI) wird ein Atomic Layer Deposition (ALD)-System zur Herstellung integrierter Quantenschaltkreise erwerben. Das System sollte in der Lage sein, dreidimensionale Strukturen wie zum Beispiel TSVs (Through-Silicium Vias) mit hohem Aspektverhältnis (durch ALD-Wachstum) mit einem hochwertigen supraleitenden Film konform zu beschichten.
Verfahrensverlauf — alle 2 Veröffentlichungen
- Ausschreibung · Frist: 13.12.2023
- Vergabeergebnis
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