Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1) Name und Adressen: Offizielle Bezeichnung: Walter Schottky Institut / TU München; Nationale Identifikationsnummer: DE811193231; Postanschrift: Am Coulombwall 4; Ort: Garching; NUTS-Code: DE212; Postleitzahl: 85748; Land: Deutschland; Kontaktstelle(n): LS Prof. Finley; Telefon: +49 8928912770; E-Mail: finley@wsi.tum.de; Fax: nicht angegeben; Internet-Adresse(n): Hauptadresse: www.wsi.tum.de; Adresse des Beschafferprofils: www.wsi.tum.de
I.2) Gemeinsame Beschaffung: nicht angegeben
I.3) Kommunikation: Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://www.evergabe.de/unterlagen/2648105/zustellweg-auswaehlen
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen: elektronisch via (URL): https://www.evergabe.de;
I.4) Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5) Haupttätigkeiten: Bildung
Abschnitt II: Gegenstand
II.1) Umfang der Beschaffung
II.1.1) Bezeichnung des Auftrags: Direct Maskess Aligner und Laserlithographiegeräte; Referenznummer der Bekanntmachung: WSI/2022-E24/2
II.1.2) CPV-Code Hauptteil: 38000000; CPV-Code Zusatzteil:
II.1.3) Art des Auftrags: Lieferauftrag
II.1.4) Kurze Beschreibung: Direct Maskess Aligner and Laser Lithoghraphy tools to be installed in the laboratories of the Technical University of Munich. A translation of the entire document into German language is available on request.
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The desktop and stand-alone maskless laser writers shall be used for contact-free lithography on hybrid (superconducting and semiconducting) quantum circuits and devices, nanofabrication without the need for conventional lithography masks and avoiding all physical contact with delicate quantum devices. Hereby, two instruments that will be used in tandem are required: (i) a table-top system that will be used in combination with a thermolithography sys