Direct Maskess Aligner und Laserlithographiegeräte

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Beschreibung

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber I.1) Name und Adressen: Offizielle Bezeichnung: Walter Schottky Institut / TU München; Nationale Identifikationsnummer: DE811193231; Postanschrift: Am Coulombwall 4; Ort: Garching; NUTS-Code: DE212; Postleitzahl: 85748; Land: Deutschland; Kontaktstelle(n): LS Prof. Finley; Telefon: +49 8928912770; E-Mail: finley@wsi.tum.de; Fax: nicht angegeben; Internet-Adresse(n): Hauptadresse: www.wsi.tum.de; Adresse des Beschafferprofils: www.wsi.tum.de I.2) Gemeinsame Beschaffung: nicht angegeben I.3) Kommunikation: Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://www.evergabe.de/unterlagen/2648105/zustellweg-auswaehlen Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen: elektronisch via (URL): https://www.evergabe.de; I.4) Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts I.5) Haupttätigkeiten: Bildung Abschnitt II: Gegenstand II.1) Umfang der Beschaffung II.1.1) Bezeichnung des Auftrags: Direct Maskess Aligner und Laserlithographiegeräte; Referenznummer der Bekanntmachung: WSI/2022-E24/2 II.1.2) CPV-Code Hauptteil: 38000000; CPV-Code Zusatzteil: II.1.3) Art des Auftrags: Lieferauftrag II.1.4) Kurze Beschreibung: Direct Maskess Aligner and Laser Lithoghraphy tools to be installed in the laboratories of the Technical University of Munich. A translation of the entire document into German language is available on request. The desktop and stand-alone maskless laser writers shall be used for contact-free lithography on hybrid (superconducting and semiconducting) quantum circuits and devices, nanofabrication without the need for conventional lithography masks and avoiding all physical contact with delicate quantum devices. Hereby, two instruments that will be used in tandem are required: (i) a table-top system that will be used in combination with a thermolithography sys

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Branche: Forschung & Bildung

Ausschreibung für die Lieferung von "Direct Maskess Aligner und Laserlithographiegeräten" für das Walter Schottky Institut der TU München mit einem geschätzten Wert von 540.000 EUR.

Gefordert sind zwei Systeme mit spezifischen Auflösungs- und Skalierungsanforderungen für Nanofabrikation. Eignungskriterien umfassen technische Leistungsfähigkeit, Kundensupport, Ersatzteilverfügbarkeit nach Garantie sowie die Einhaltung von Umwelt- und Vibrationsschutzstandards.

Weitere Eignungskriterien: Die Vergabe erfolgt im offenen Verfahren mit einem Fokus auf technische Spezifikationen (75%), Preis (20%) und Lieferzeit (5%).

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Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de. Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.

Die folgenden Textstellen stammen wortwörtlich aus der Bekanntmachung der Vergabestelle. Wir stellen sie strukturiert dar, ohne sie zu paraphrasieren oder zu interpretieren. Die Zuordnung zu Kategorien erfolgt KI-gestützt — die Zitate selbst sind unverändert und via Substring-Match verifiziert (KI-Transparenz nach Art. 50 EU AI Act).

Der Lieferant muss in der Lage sein, Kundensupport und Service mit einer Reaktionszeit von weniger als 10 Arbeitstagen für das Gerät zu bieten.