Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
I.1) Name und Adressen: Offizielle Bezeichnung: Walter Schottky Institut / TU München; Nationale Identifikationsnummer: nicht angegeben; Postanschrift: Am Coulombwall 4; Ort: Garching; NUTS-Code: DE212; Postleitzahl: 85748; Land: Deutschland; Kontaktstelle(n): nicht angegeben; Telefon: nicht angegeben; E-Mail: finley@wsi.tum.de; Fax: nicht angegeben; Internet-Adresse(n): Hauptadresse: https://www.wsi.tum.de/; Adresse des Beschafferprofils: nicht angegeben
I.2) Gemeinsame Beschaffung: nicht angegeben
I.4) Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
I.5) Haupttätigkeiten: Bildung
Abschnitt II: Gegenstand
II.1) Umfang der Beschaffung
II.1.1) Bezeichnung des Auftrags: Direct Maskess Aligner und Laserlithographiegeräte; Referenznummer der Bekanntmachung: WSI/2022-E24/2
II.1.2) CPV-Code Hauptteil: 30232110; CPV-Code Zusatzteil:
II.1.3) Art des Auftrags: Lieferauftrag
II.1.4) Kurze Beschreibung: Direct Maskess Aligner und Laserlithographiegeräte, die in den Laboren des Physik Departments der Technischen Universität München installiert werden sollen.
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Direct Maskess Aligner and Laser Lithoghraphy tools to be installed in the laboratories of the Technical University of Munich. A translation of the entire document into German language is available on request.
1. General system requirements
1.1. Design of the system(s)
The desktop and stand-alone maskless laser writers shall be used for contact-free lithography on hybrid (superconducting and semiconducting) quantum circuits and devices, nanofabrication without the need for conventional lithography masks and avoiding all physical contact with delicate quantum devices. Hereby, two instruments that will be used in tandem are required: (i) a table-top system that will be used in combination with a thermolithography system for rapid prototyping and quantum device imaging and repair and provide a resolution of ~1µm and (ii) a stand-alone system that can be used fo