IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Frankfurt (Oder) · Brandenburg · Nachgeordnete Behörde
Hinweis: Nicht alle Kerndaten wurden publiziert — die Vergabestelle hat diese Bekanntmachung ohne Vertragswert veröffentlicht.
KI-generierte Zusammenfassung der Bekanntmachung (KI-Transparenz) — maßgeblich ist die Original-Bekanntmachung.
Supply, delivery, installation, commissioning and integration of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system shall support DC and pulsed I-V as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and shall be integrated with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope includes the prober, temperature-controlled chuck, electrical probes, optical and camera systems, control hardware and software, cabling and interfaces, installation, commissioning, operator training and integration support.
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Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
The evaluation will consider, in particular: - technical performance and precision of the wafer positioning system - chuck and wafer handling concept - temperature control and temperature stability over the specified range - electrical probe system and suitability for low-noise FORCE/SENSE measurements - suitability for DC, pulsed I-V and low-frequency impedance measurements up to 10 MHz - optical system, microscope and camera functionality - degree of automation and ease of operation - overall technical design and suitability for the intended application The assessment will be based on the technical documentation submitted with the tender.
Berücksichtigung des Preises durch die Wertungsmethode "Preis-Quotient-Methode"
Only technically compliant offers fulfilling all mandatory integration requirements specified in Section 2.7 will be evaluated under this criterion. The assessment will consider the quality and robustness of the proposed integration concept, in particular: - technical robustness and suitability of the interface concept - quality of the triaxial FORCE/SENSE implementation - suitability of the signal routing and switching concept for the intended measurements - measures for low-noise operation, including the avoidance or reduction of leakage currents, interference and ground-loop effects - suitability of the proposed chuck-terminal implementation for accurate capacitance measurements - quality and usability of the software/control integration - quality of the commissioning and functional-verification concept; - completeness and technical clarity of the proposed integration concept. The assessment will be based on the technical documentation and integration concept submitted with the tender. Additional points will be awarded only for identifiable technical advantages beyond the mandatory requirements. The fact that the mandatory integration requirements are fulfilled does not, by itself, constitute an additional benefit.
The evaluation will consider, in particular: - earliest possible delivery date - installation and commissioning concept - expected duration of installation and commissioning - availability and scope of on-site integration support - operator training - warranty and service concept - availability of technical support and spare parts The assessment will be based on the delivery schedule, installation and commissioning concept, service information and other relevant documentation submitted with the tender.
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung oder in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der Frist der Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Im Übrigen sind Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Ein Nachprüfungsantrag ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der zuständigen Vergabekammer zu stellen (§ 160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)). Die o. a. Fristen gelten nicht, wenn der Auftraggeber gemäß § 135 Absatz 1 Nr. 2 GWB den Auftrag ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist. Setzt sich ein Auftraggeber über die Unwirksamkeit eines geschlossenen Vertrages hinweg, indem er die Informations und Wartepflicht missachtet (§ 134 GWB) oder ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist, kann die Unwirksamkeit nur festgestellt werden, wenn sie im Nachprüfungsverfahren innerhalb von 30 Kalendertagen nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrages, jedoch nicht später als 6 Monate nach Vertragsschluss geltend gemacht worden ist. Hat der Auftraggeber die Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union bekannt gemacht, endet die Frist 30 Kalendertage nach Veröffentlichung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union (§135 GWB).
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Vollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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