Öffentliche Ausschreibung (national) Gesundheitswesen & Medizintechnik
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VOL (Lieferungen/DL)

teil-automatisches Reinigungssystems für fotolithografische Masken

Fraunhofer ENAS

Angebote bis 16.09.2026, 12:00 Uhr (noch 1 Tage)

Beschreibung

Beschaffung eines teil-automatischen Reinigungssystems für fotolithografische Masken in der Halbleiterindustrie zur Installation in einem Reinraum. Es müssen 6", 7" und 9" Masken durch ein mögliches Austauschen des Chucks gereinigt werden können. teil-automatisches Reinigungssystems für fotolithografische Masken

KI-Eignungsanalyse

KI-generiert

Branche: Gesundheitswesen & Medizintechnik

Das Wichtigste auf einen Blick

  • Beschaffung eines teil-automatischen Reinigungssystems für fotolithografische Masken in der Halbleiterindustrie.
  • Das System muss 6", 7" und 9" Masken reinigen können, mit austauschbarem Chuck.
  • Installation in einem Reinraum am Standort Chemnitz.
  • Offenes Vergabeverfahren (cn-standard).

Beschaffung eines teil-automatischen Reinigungssystems für fotolithografische Masken (6", 7", 9") für die Halbleiterindustrie.

Das System soll in einem Reinraum installiert werden und erfordert einen möglichen Austausch des Chucks zur Anpassung der Maskengrößen. Der Auftraggeber ist die Fraunhofer ENAS in Chemnitz.

Weitere Eignungskriterien: Details in der vollständigen Analyse.

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Verfahrensverlauf

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    Vergabeergebnis noch nicht veröffentlicht

Stammdaten
Angebotsfrist 16.09.2026, 12:00 Uhr (noch 1 Tage)
Verfahrensart Öffentliche Ausschreibung (national)
Schwierigkeit Mittel KI
Auftraggeber Fraunhofer ENAS
Veröffentlicht 29.08.2026
Erfüllungsort Chemnitz
Rückfrage an die Vergabestelle stellen über die Bieterkommunikation im Vergabeportal (oeffentlichevergabe.de)
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Erweiterte Daten

Quelle: oeffentlichevergabe.de · 3/5 Kernfelder

Nicht in der Bekanntmachung: Auftragswert · CPV-Code

Zuletzt geprüft am 30.08.2026

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Quelle: oeffentlichevergabe.de

Bekanntmachung über die zentrale Vergabeplattform des Bundes. Vollständige Vergabeunterlagen und Angebotsabgabe auf der Original-Plattform der Vergabestelle: