Mehr Details
Beschaffung einer chemisch-mechanischen Polieranlage
Neue Ausschreibungen wie diese — jede Woche per Email
Branche „Gesundheitswesen & Medizintechnik" · kostenlos · Ein-Klick-Abmeldung · DSGVO-konform
Beschreibung
Die Anlage soll geeignet sein, um Wafer mit verschiedenen topographischen Schichten, wie z.B. Silizium, Siliziumoxid, Wolfram, etc. zu planarisieren und zu polieren. Es muss sich um eine vollautomatische Anlage mit vollständiger Integration aller notwendigen Komponenten, wie Polier-, Reinigungs- & Trockeneinheit handeln, sogenanntes Dry in/Dry out. Aufgrund der Verwendung von doppelseitig prozessierten Wafern muss der Transport innerhalb der Anlage mit einem rückseitenschonendem Handlingssystem von Ein- zu Ausgabekassette erfolgen. Die einzelnen Prozessmodule müssen ebenfalls möglichst rückseitenschonend ausgeführt sein. Die Anlage muss zur Bearbeitung sowohl von 6- als auch 8-Zoll Wafern geeignet sein. Ein dazu eventueller Umbau muss vom Benutzer möglichst einfach durchführbar sein und darf nicht länger als 3 Arbeitstage in Anspruch nehmen. Die Anlage muss möglichst kompakt sein und darf wegen des vorhandenen Reinraumplatzes ein Flächenmaß von 2,5 x 2,5 m² nicht überschreiten. Eine Secs/Gem Schnittstelle muss vorhanden sein. Außerdem muss ein Barcodescanner mitgeliefert werden.
Vergabe-Ergebnis
Hinweis: Nicht alle Kerndaten wurden publiziert — die Vergabestelle hat diese Bekanntmachung ohne Auftragnehmer und ohne Vertragswert veröffentlicht.
Zuschlag erteilt, aber Auftragnehmer nicht strukturiert publiziert. Das eForms-Feld „Sieger wurde gewählt" (selec-w) ist gesetzt, die Vergabestelle hat den konkreten Auftragnehmer aber nicht als strukturiertes Datenfeld hinterlegt. In vielen Fällen steht der Name im Freitext der Original-Bekanntmachung.
Verwandte Bekanntmachungen
📅 .icsWeitere Bekanntmachungen desselben Auftraggebers mit ähnlichem Titel und Zeitraum — automatisch verknüpft.
-
Vergabeergebnis Sie sind hier TED EU
Vergabeergebnis veröffentlicht
2 Veröffentlichungen
- 07.02.2024 Original-Veröffentlichung
- 07.02.2024 Auch in oeffentlichevergabe.de publiziert aktuell
Preiseinschätzung
Basierend auf 182 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
📬
Ähnliche Ausschreibungen per E-Mail
Erhalten Sie automatisch passende Aufträge — bevor Ihre Wettbewerber davon erfahren.
Personalisiertes Suchprofil einrichten → · Für Einkaufsabteilungen: Rechnung per Überweisung →