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Lieferauftrag EU-Oberschwelle

Strukturierungs- und Beobachtungssystem auf Basis einer Plasma-Ionensäule und einer Elektronensäule zur Beobachtung, sowie kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle · Ilmenau · Thüringen · Körperschaft des öffentlichen Rechts (Land)

Veröffentlicht am 08.05.2025

Teilnahme- bzw. Angebotsfrist
24.06.2025, 09:30 Uhr
abgelaufen
Erfüllungsort
Ilmenau
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
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Beschreibung

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer flexibel einsetzbaren modernen Plasma-FIB (PFIB), wel-che die Möglichkeit der kontaminationsarmen Präparation von Strukturen über größere Probenbe-reiche mit hoher Abtragsrate besitzt. Diese hohen Abtragsraten sind für die effiziente Herstellung und Charakterisierung von verschiedenen z.T. integrierten Strukturen in unterschiedlichen Größens-kalen von Bedeutung.
Mit der geplanten Anlage sollen großflächige Strukturen durch gezielte Feinstrukturierung in Mikro- und Nanometerdimension (sowohl lateral als auch in die Tiefe) hergestellt werden. Unter anderem werden damit sowohl die grundlagenbasierte Forschung im Bereich der quanten-photonisch inte-grierten Systeme (Q-PICs) vorangetrieben als auch durch die Kombination der verschiedenen tech-nologischen Konzepte mikroelektronische Systeme direkt mit Q-PICs verknüpft.
Gleichzeitig soll das Gerät die Möglichkeit der Lamellenpräparation für die Transmissionselektronen-mikroskopie (TEM) unterstützen und dabei die dafür nötige Präzision auch für die Oberflächenstruk-turierung größerer Dimensionen an den Grenzen der physikalisch-technischen Realisierbarkeit be-reitstellen.
Zusätzlich kann die Anlage zur Charakterisierung von Proben mit Hilfe der elektronenstrahlbasierten Abbildung verwendet werden, welche sowohl in situ (während der Strukturierung) als auch vor/nach der Strukturierung möglich ist. Dies erfolgt in der gesamten Technologiekette.

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KI-Kurzfassung der Anforderungen

KI-generiert

Branche: Bildung & Forschung

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Plasma-FIB (PFIB) zur kontaminationsarmen Präparation großer Probenbereiche mit hohen Abtragsraten.

Die Anlage dient der Herstellung und Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen, der Forschung an quanten-photonisch integrierten Systemen und der Lamellenpräparation für TEM. Wesentliche Anforderungen sind die Flexibilität, Präzision und die Möglichkeit zur elektronenstrahlbasierten Abbildung.

Weitere Eignungskriterien: Details in der vollständigen Analyse.

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Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.

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Weitere Pflichtangaben aus der Bekanntmachung

Zweistufiges Verfahren (Bewerberlimitierung)

3–6 Bewerber zugelassen · sukzessive Reduktion möglich · Zuschlag ohne Verhandlung möglich

Anforderungen an Bieter (Eignung)

Was Sie zur Teilnahme nachweisen müssen — wie vom Auftraggeber gefordert.

Befähigung zur Berufsausübung

  • Eintragung Berufsregister

    Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch
    Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt A. ImFormblatt „EEE-Europäische
    Eigenerklärung“

Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit

  • Wirtschaftliche/finanzielle Leistungsfähigkeit
    • (M1) Erklärung, dass sich das Unternehmen weder in Liquidation befindet, noch dass über das Vermögen des Unternehmens das Insolvenz- bzw. Vergleichsverfahren eröffnet oder die Eröffnung beantragt worden ist
    • (M2) Auszug aus dem Handelsregister/Gewerbezentralregister (nicht älter als 3 Monate),
    • (M3) Unbedenklichkeitsbescheinigung des Finanzamtes, der Krankenkassen, der Sozialversicherungsträger, der Berufsgenossenschaften und der Haftpflichtversicherung.
  • Durchschnittlicher Jahresumsatz

    Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle
    Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt B. Im Formblatt
    „EEE-Europäische Eigenerklärung“ - durchschnittlicher Jahresumsatz der letzten 3 Jahre

  • Gesamtjahresumsatz

    Bewertungskriterien

    • (W1) aktuelle wirtschaftliche Gesamtsituation (Jahresgesamtumsatz) des

    Bieters

  • Spezifischer Jahresumsatz (Auftragsbereich)

    Bewertungskriterien

    • (W2) zum Umsatz mit PFIB-Systemen in Forschungseinrichtungen in den letzten 3 Jahren.
  • Durchschnittlicher spezifischer Jahresumsatz

    Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle
    Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IVAbschnitt B. Im Formblatt
    „EEE-Europäische Eigenerklärung“ - durchschnittlihcer Jahresumsatz des Wirtschaftteilnehmers in dem betreffenden Bereich der letzten 3 Jahre

Technische & berufliche Leistungsfähigkeit

  • Werkzeuge, Anlagen, technische Ausrüstung

    Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“ - Angaben zu Ausstattung, Geräte
    und technischen Ausrüstungen

  • Umweltmanagement-Maßnahmen

    Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C und D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“ - Angaben zu
    Umweltmanagementmaßnahmen, Bescheinigungen zur Erfüllung der Anforderungen an die Umweltmanagementsysteme oder -normen.

  • Qualitätsmanagement

    Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C und D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“ -- Angaben zu Maßnahmen zur Qualitätssicherung, Bescheinigungen zu Qualitätssicherungsnormen

  • Lieferketten-Management

    Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“ - Angaben zur Vertragserfüllung,
    Lieferkettenmanagement und Überwachungssystem

  • Referenzen (vergleichbare Lieferungen)

    Mindestanforderung (Ausschlusskriterium)

    • (M5) Angabe einer Referenz eines Projekts für die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme eines Plasma-FIB-Geräts mit Elektronensäule in den vergangenen 5 Jahren mit vergleichbarem Auftragsvolumen und ähnlicher Komplexität hinsichtlich Strukturierung und kontaminationsarmer Präparation von Materialoberflächen.

    Bewertungskriterien:

    • (T1) Nachweis einer Referenz eines Projekts für die Lieferung, Installation,

    Inbetriebnahme eines Plasma-FIB-Geräts mit Elektronensäule in den vergangenen 5
    Jahren mit vergleichbarem Auftragsvolumen und ähnlicher Komplexität hinsichtlich
    Strukturierung und kontaminationsarmer Präparation von Materialoberflächen.

    • (T2) nächstgelegener Servicestandort zum Erfüllungsort
  • Referenzen (vergleichbare Lieferungen)

    Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung “ - Angaben zu Lieferungen und Dienstleistungen der genannten Art (dem Auftragsgegenstand vergleichbare Leistungen)

  • Ausbildungs-/Berufsqualifikation des Personals

    Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“ - Angaben zu Ausbildungsnachweisen oder Bescheinigungen über die berufliche Befähigung (Dienstleister oder Unternehmen selbst oder seiner Führungskräfte)

  • Technische Fachkräfte (Ausführung)
    • (M4) Eigenerklärung mit der Angabe der Anzahl der technischen Fachkräfte im Bereich der Forschung & Entwicklung und des Supports.
  • Technische Fachkräfte (Ausführung)

    Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung “ - Angaben zu technischen Fachkräften oder technischen Stellen

  • Durchschnittliche Personalstärke

    Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“ - Angaben
    zu den durchschnittlichen jährlichen Beschäftigtenzahlen in den letzten 3 Jahren

  • Anzahl Führungskräfte (Jahresdurchschnitt)

    Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“ - Angaben zu der Zahl seiner
    Führungskräfte in den letzten 3 Jahren

  • Nachunternehmer-Anteil

    Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt C (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre) Im Formblatt „EEE-EuropäischeEigenerklärung“- Angaben zur Unterauftragsvergabe

Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.

Solche Anforderungen kommen wieder

Hier wurden Nachweise zu Befähigung zur Berufsausübung, Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit, Technische & berufliche Leistungsfähigkeit verlangt. Für diese Ausschreibung ist die Frist vorbei — mit einem kostenlosen Suchprofil bekommen Sie vergleichbare Ausschreibungen am Tag der Veröffentlichung per E-Mail, statt sie Wochen später über eine Suchmaschine zu finden.

Vergabe- & Vertragsbedingungen

Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.

  • Nachforderung teilweise möglich

    Bestimmte fehlende Unterlagen dürfen nachgefordert werden — nicht alle.

  • Elektronische Rechnung (eRechnung) verpflichtend
  • EU-gefördertes Vorhaben

    eu-funds

Hinweise zur Nachprüfung & Rügepflicht

entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB

Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.

Verfahrensverlauf

📅 .ics

Vollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.

  1. Ausschreibung Sie sind hier

    Angebote werden eingeholt

    2 Veröffentlichungen

  2. Vergabeergebnis

    Auftrag wurde zugeschlagen · 118 Tage nach Fristende

    Auftragnehmer FEI Deutschland GmbH
    Zuschlagswert 1.155.000 €

Preiseinschätzung

Basierend auf 93 vergleichbaren Vergabeergebnissen:

Unteres Quartil 274.580 €
Median 498.000 €
Oberes Quartil 953.964 €

Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.

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Vergabeunterlagen

Beim Original-Portal — die Angebotsfrist ist abgelaufen, die Unterlagen sind dort ggf. nicht mehr hinterlegt.

Stammdaten
Angebotsfrist 24.06.2025, 09:30 Uhr (abgelaufen)
Vergabenummer TU-025/25-201-ZMN
Verfahrensart Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Auftragsart Lieferauftrag
Schwierigkeit Hoch KI
Standort Ilmenau, Thüringen
Veröffentlicht 08.05.2025
CPV-Codes (2) 38511100 · Labor-, optische und Präzisionsgeräte
38512000 · Labor-, optische und Präzisionsgeräte
(Was ist das?)
Erfüllungsort Ilmenau
Bieterkommunikation ansehen Fragen & Antworten zum Verfahren im Vergabeportal (oeffentlichevergabe.de) · ggf. archiviert
Nebenangebote nicht zugelassen

Alert für ähnliche Ausschreibungen
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Ø Bieter in der Branche 1.9
Methodik & Datenbasis

Historischer Durchschnitt aus 4.834 vergleichbaren Vergaben — keine Prognose für diese Ausschreibung.


Erfasste Abschluss-Meldungen 89%
Methodik & Datenbasis

Anteil der erfassten Verfahren in Bildung & Forschung mit veröffentlichter Zuschlag-Bekanntmachung. Basis: 15.248 Verfahren. Die tatsächliche Zuschlagsquote liegt typischerweise höher, weil viele Vergabestellen Ergebnisse verspätet oder gar nicht melden.


Markt-Insights

Ø Zuschlagsdauer 15 Tage
Schätzwert-Abweichung -3%
KMU-Bieteranteil 31%

Preis-Kalkulator

Historische Preisdaten für diese Branche in Thüringen
Preis-Kalkulator freischalten →


Vergabeunterlagen erhalten Sie über die in der Bekanntmachung angegebene Vergabeplattform des Auftraggebers Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle. Oberhalb der EU-Schwellenwerte ist die elektronische Einreichung über eVergabe-Plattformen (z. B. Vergabe.NRW, DTVP, evergabe-online.de, HAD) Pflicht.

Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammer Freistaat Thüringen, Weimar

Hinweis zur Zuständigkeit

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht unbedingt die hier genannte.

Erweiterte Daten

Quelle: oeffentlichevergabe.de · 4/5 Kernfelder

Nicht in der Bekanntmachung: Auftragswert

Zuletzt geprüft am 25.07.2026

Daten korrigieren →

Quelle: oeffentlichevergabe.de

Diese Ausschreibung ist abgeschlossen (Frist abgelaufen). Der ursprüngliche Eintrag im Vergabeportal der Vergabestelle ist nach Verfahrensende oft nicht mehr abrufbar — die dauerhafte Fassung finden Sie auf oeffentlichevergabe.de:

Vergabestelle

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle · Ilmenau

✉ vergabestelle@tu-ilmenau.de
☎ 000