Ausschreibung
Kauf eines Industrieroboters/ Roboterhundes
KI Die Westsächsische Hochschule Zwickau beabsichtigt den Kauf eines Industrieroboters, auch als Roboterhund bezeichnet.
Industrie- und Baumaschinen
Offenes Verfahren
IT & Digitalisierung
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Lieferauftrag
EU-Oberschwelle
Hochtemperatur/ LP-CVD System für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie
Westsächsische Hochschule Zwickau · Zwickau · Sachsen · Körperschaft des öffentlichen Rechts (Land)
Angebote bis 26.11.2026, 09:00 Uhr (noch 27 Tage)
- Angebotsfrist
- 26.11.2026, 09:00 Uhr
- noch 27 Tage
- Auftragswert
- nicht veröffentlicht
- Verfahren
- Offenes Verfahren
- Veröffentlicht
- 22.10.2026
Zu den Vergabeunterlagen
auf dtvp.de
Beschreibung
1 STK Hochtemperaturanlage mit 8 Prozessstationen / Rohren mit Beladeeinrichtungen für Hochtemperatur- und LP-CVD Prozesse, vorwiegend für monokristalline Siliziumwafer. - Footprint der Gesamtanlage nicht größer als 400cm x 600cm x 295cm (L x B x H). - Besteht das Gesamtsystem aus mehreren Einzelanlagen / Teilen müssen alle Anlagen innerhalb des angegebenen Footprints aufgestellt werden können. - Vom angegebenen Footprint ausgenommen sind ausschließlich eine etwaige Bedienkonsole, diese darf separat auf einem max. 180cmx80cm messenden Tisch untergebracht werden und die Vakuum-Pumpen, welche innerhalb eines Service-Bereichs untergebracht werden dürfen. - Bei zwei gekoppelten Einzelanlagen: ist eine an der Rückwand gespiegelte Konfiguration (eine Anlage mit Beladestationen rechts, eine Anlage mit Beladestationen links) vorzusehen - Alle 8 Prozessstationen sind auf die parallele Bearbeitung von mindestens 13 Stück Wafer pro Prozess auszulegen. - Die verarbeitbaren Durchmesser der Wafer sind mindestens: o 150mm und o 100mm - Die Prozessstationen sind als horizontal angeordnete Prozessrohre mit jeweils einem Quarz- oder SiC-Rohr und jeweils einer automatischen/motorisierten Beladestation vorzusehen. - Der Ausleger (Paddle) zur Beladung ist aus Siliciumcarbid auszuführen. - Die Beladestation(en) sind mit Luftfiltereinheit(en) mit laminarer Luftströmung vorzusehen. - Jede Prozessstation ist mit jeweils mindestens 3 Temperaturregelzonen pro Prozessrohr auszuführen. - Jedes LP - CVD Prozessrohr ist mit einem integrierten Leckratetest / Druckverlustprofiling zu realisieren. - Innerhalb der Bearbeitungszone der min. 13 Prozesswafer (Flat-Zone) ist im Prozess eine Temperaturabweichung vom Sollwert von höchstens +/-1 K und eine Soll-Temperaturabweichung von Run zu Run höchstens +/-1 K zu erzielen. - Mindestens ein geeignetes Thermoelement pro Temperaturregelzone zur Prozessüberwachung und -regelung muss vorhanden sein. - Mindestens ein geeignetes Thermoelement pro Temperaturrege
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KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: IT & Digitalisierung
Das Wichtigste auf einen Blick
- Gegenstand der Ausschreibung ist ein Hochtemperatur/ LP-CVD System für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie.
- Es handelt sich um eine Beschaffung von Liefergegenständen im Rahmen eines offenen Verfahrens.
- Der Erfüllungsort ist Zwickau.
Die Westsächsische Hochschule Zwickau schreibt ein Hochtemperatur/ LP-CVD System für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie aus.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: automatisiert von einem KI-Modell erstellt — ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen. Mehr ▾
Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
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Zuschlagskriterien
Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
Los 1 · Hochtemperatur/ LP-CVD System für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie
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Erfüllung der Leistungsparameter 60 %Qualität
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Preiskriterium 30 %Preis
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Lieferzeit 10 %Qualität
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Vergabe- & Vertragsbedingungen
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
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Nachforderung teilweise möglich
Bestimmte fehlende Unterlagen dürfen nachgefordert werden — nicht alle.
- Elektronische Rechnung (eRechnung) verpflichtend
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Reservierte Auftragsausführung
Die Ausführung ist bestimmten Einrichtungen vorbehalten (§ 118 GWB).
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Wertung
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Vergabeergebnis
Vergabeergebnis noch nicht veröffentlicht
Preiseinschätzung
Basierend auf 507 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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