Frist abgelaufen Bildung & Forschung
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Lieferauftrag EU-Oberschwelle

Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität Bochum · Bochum · Nordrhein-Westfalen · Körperschaft des öffentlichen Rechts (Land)

Angebotsfrist
14.09.2026, 12:00 Uhr
abgelaufen
Geschätzter Wert
1.024.000 €
Verfahren
Wettbewerblicher Dialog
Veröffentlicht
13.08.2026

Diese Frist ist vorbei. Aktuell laufen 35 vergleichbare Ausschreibungen in „Labor-, optische und Präzisionsgeräte" in Nordrhein-Westfalen, zum Beispiel:

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Beschreibung

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

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KI-Kurzfassung der Anforderungen

KI-generiert

Branche: Bildung & Forschung

Das Wichtigste auf einen Blick

  • Beschaffung einer DRIE-Ätzanlage für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser zur Nutzung im Forschungslabor Mikroelektronik.
  • Anforderung an die Unterstützung des zyklischen Bosch-Prozesses sowie Flexibilität für die Erforschung klimaschonender Ätzgase.
  • Verfahren erfolgt als wettbewerblicher Dialog, was eine frühzeitige Auseinandersetzung mit den technischen Spezifikationen erfordert.
  • Nachweis der technischen Leistungsfähigkeit und Erfahrung in der Bereitstellung von Anlagen für die Mikroelektronik-Forschung ist zwingend erforderlich.

Die Ruhr-Universität Bochum beschafft eine DRIE-Ätzanlage für MEMS-Anwendungen mit einem geschätzten Auftragswert von 1.024.000 EUR.

Hinweis nach EU AI Act Art. 50: automatisiert von einem KI-Modell erstellt — ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen. Mehr ▾

Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.

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Weitere Pflichtangaben aus der Bekanntmachung

Zweistufiges Verfahren (Bewerberlimitierung)

Mindestens 3 Bewerber · sukzessive Reduktion möglich

Anforderungen an Bieter (Eignung)

Was Sie zur Teilnahme nachweisen müssen — wie vom Auftraggeber gefordert.

Befähigung zur Berufsausübung

  • Eintragung Berufsregister

    Wir sind Mitglied folgender Berufsgenossenschaft(en)*: Bezeichnung Mitgliedsnummer * Bezeichnung Mitgliedsnummer * Bieter, die ihren Sitz nicht in der Bundesrepublik Deutschland haben, geben den für sie zuständigen Träger an. Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers reichen wir eine entsprechende Bescheinigung der Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft ein. * Eine Haftpflichtversicherung besteht bei folgendem Versicherungsunternehmen: Versicherer: Deckungssummen in EUR Sachschäden Vermögensschäden Personenschäden Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers reichen wir eine entsprechende Versicherungsbescheinigung ein. Alle Angaben sind in Dokument 02 vorzunehmen.

Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit

  • Wirtschaftliche/finanzielle Leistungsfähigkeit

    Zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: Zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: a) Angaben zum Bestehen einer Haftpflichtversicherung mit Angabe der Deckungssummen für Sach-,Vermögens- und Personenschäden, b) Angaben Umsatzzahlen der letzten 3 abgelaufenen Geschäftsjahre bezogen auf vergleichbare Aufträge und auf den Unternehmensgesamtumsatz Hinweis: Die Angaben zu den vorstehenden Buchstaben a) bis b) sind durch Eigenerklärungen zu erbringen. Für die Abgabe der Eigenerklärungen ist zwingend das vom Auftraggeber zur Verfügung gestellte Dokument 02 -Angebotsvordruck zu verwenden. Möglicherweise geforderte Mindeststandards

Technische & berufliche Leistungsfähigkeit

  • Qualitätsmanagement

    Zur technischen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: a) detaillierte Darstellung des Unternehmens und der Kompetenzschwerpunkte Hinweis: Die vorstehenden Angaben a) sind durch Eigenerklärungen zu erbringen. Für die Abgabe der Eigenerklärungen ist zwingend das vom Auftraggeber zur Verfügung gestellte Dokument 02 - Angebotsvordruck zu verwenden. Bei Bietergemeinschaften sind diese Angaben für alle Mitglieder der Bietergemeinschaft vorzulegen. Sofern ein Bewerber zum Nachweis seiner Eignung sich auf andere Unternehmen, insbesondere Subunternehmer beruft, sind entsprechende Angaben auch für diese vorzulegen. Bieter haben im Angebotsvordruck folgende Nachweise in Form von Eigenerklärungen zu erbringen: - Angabe von mindestens 3 Referenzen zu vergleichbaren Aufträgen - Eine Erklärung über die Verfügbarkeit eines technischen Services in Deutschland in weniger als einer Woche (5 Arbeitstage) nach Anfrage - Bestätigung an einem Interesse an einer gemeinsamen Weiterentwicklung von Ätzprozessen.

Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.

Solche Anforderungen kommen wieder

Hier wurden Nachweise zu Befähigung zur Berufsausübung, Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit, Technische & berufliche Leistungsfähigkeit verlangt. Für diese Ausschreibung ist die Frist vorbei — mit einem kostenlosen Suchprofil bekommen Sie vergleichbare Ausschreibungen am Tag der Veröffentlichung per E-Mail, statt sie Wochen später über eine Suchmaschine zu finden.

Vergabe- & Vertragsbedingungen

Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.

  • Nachforderung fehlender Unterlagen möglich

    Der Auftraggeber darf fehlende, unvollständige oder fehlerhafte Unterlagen nachfordern (§ 56 VgV).

  • Elektronische Rechnung (eRechnung) verpflichtend

Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.

Verfahrensverlauf

📅 .ics

Vollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.

  1. Ausschreibung Sie sind hier

    Angebote werden eingeholt

    Geschätzter Wert 1.024.000 €

    1 Veröffentlichung

    • Frist 14.09.2026 Original-Veröffentlichung aktuell
  2. Wertung

    Angebote werden geprüft

  3. Vergabeergebnis

    Vergabeergebnis liegt uns nicht vor — beim Auftraggeber direkt erfragen

Preiseinschätzung

Basierend auf 1.332 vergleichbaren Vergabeergebnissen:

Unteres Quartil 200.835 €
Median 305.590 €
Oberes Quartil 493.227 €

Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.

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1.024.000 €
Geschätzter Wert
ca. 172 % über Branchen-Median

Angebotsfrist 14.09.2026, 12:00 Uhr (abgelaufen)
Vergabenummer WD/2026/BVG00084528
Verfahrensart Wettbewerblicher Dialog
Auftragsart Lieferauftrag
Schwierigkeit Hoch KI
Standort Bochum, Nordrhein-Westfalen
Veröffentlicht 13.08.2026
CPV-Code 38000000
Labor-, optische und Präzisionsgeräte (Was ist das?)
Erfüllungsort Bochum
Bieterkommunikation ansehen Fragen & Antworten zum Verfahren im Vergabeportal (oeffentlichevergabe.de) · ggf. archiviert
Alert für ähnliche Ausschreibungen
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Vergabe-Status (?)
Vergabeergebnis liegt uns nicht vor
Bei Unterschwellenvergaben ist die TED-Veröffentlichung des Ergebnisses nicht zwingend — direkt beim Auftraggeber nachfragen.

Ø Bieter in der Branche 1.9
Methodik & Datenbasis

Historischer Durchschnitt aus 4.846 vergleichbaren Vergaben — keine Prognose für diese Ausschreibung.


Erfasste Abschluss-Meldungen 89%
Methodik & Datenbasis

Anteil der erfassten Verfahren in Bildung & Forschung mit veröffentlichter Zuschlag-Bekanntmachung. Basis: 15.271 Verfahren. Die tatsächliche Zuschlagsquote liegt typischerweise höher, weil viele Vergabestellen Ergebnisse verspätet oder gar nicht melden.


Markt-Insights

Ø Zuschlagsdauer 15 Tage
Schätzwert-Abweichung -3%
KMU-Bieteranteil 31%

Preis-Kalkulator

Historische Preisdaten für diese Branche in Nordrhein-Westfalen
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Vergabeunterlagen erhalten Sie über die in der Bekanntmachung angegebene Vergabeplattform des Auftraggebers Ruhr-Universität Bochum. Oberhalb der EU-Schwellenwerte ist die elektronische Einreichung über eVergabe-Plattformen (z. B. Vergabe.NRW, DTVP, evergabe-online.de, HAD) Pflicht.

Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammer der Bezirksregierung Westfalen, Münster

Hinweis zur Zuständigkeit

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht unbedingt die hier genannte.

Vollständige Daten

Quelle: oeffentlichevergabe.de · 5/5 Kernfelder

Zuletzt geprüft am 14.08.2026

Daten korrigieren →

Quelle: oeffentlichevergabe.de

Diese Ausschreibung ist abgeschlossen (Frist abgelaufen). Der ursprüngliche Eintrag im Vergabeportal der Vergabestelle ist nach Verfahrensende oft nicht mehr abrufbar — die dauerhafte Fassung finden Sie auf oeffentlichevergabe.de: