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Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Ruhr-Universität Bochum · Bochum · Nordrhein-Westfalen · Körperschaft des öffentlichen Rechts (Land)
Angebote bis 14.09.2026, 12:00 Uhr (noch 21 Tage)
Beschreibung
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Bildung & Forschung
Das Wichtigste auf einen Blick
- Beschaffung einer DRIE-Ätzanlage für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser zur Nutzung im Forschungslabor Mikroelektronik.
- Anforderung an die Unterstützung des zyklischen Bosch-Prozesses sowie Flexibilität für die Erforschung klimaschonender Ätzgase.
- Verfahren erfolgt als wettbewerblicher Dialog, was eine frühzeitige Auseinandersetzung mit den technischen Spezifikationen erfordert.
- Nachweis der technischen Leistungsfähigkeit und Erfahrung in der Bereitstellung von Anlagen für die Mikroelektronik-Forschung ist zwingend erforderlich.
Die Ruhr-Universität Bochum beschafft eine DRIE-Ätzanlage für MEMS-Anwendungen mit einem geschätzten Auftragswert von 1.024.000 EUR.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: automatisiert erstellt (Google Gemini) — ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen. Mehr ▾
Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
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Weitere Pflichtangaben aus der Bekanntmachung
Mindestens 3 Bewerber · sukzessive Reduktion möglich
Anforderungen an Bieter (Eignung)
Was Sie zur Teilnahme nachweisen müssen — wie vom Auftraggeber gefordert.
Befähigung zur Berufsausübung
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Eintragung Berufsregister
Wir sind Mitglied folgender Berufsgenossenschaft(en)*: Bezeichnung Mitgliedsnummer * Bezeichnung Mitgliedsnummer * Bieter, die ihren Sitz nicht in der Bundesrepublik Deutschland haben, geben den für sie zuständigen Träger an. Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers reichen wir eine entsprechende Bescheinigung der Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft ein. * Eine Haftpflichtversicherung besteht bei folgendem Versicherungsunternehmen: Versicherer: Deckungssummen in EUR Sachschäden Vermögensschäden Personenschäden Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers reichen wir eine entsprechende Versicherungsbescheinigung ein. Alle Angaben sind in Dokument 02 vorzunehmen.
Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit
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Wirtschaftliche/finanzielle Leistungsfähigkeit
Zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: Zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: a) Angaben zum Bestehen einer Haftpflichtversicherung mit Angabe der Deckungssummen für Sach-,Vermögens- und Personenschäden, b) Angaben Umsatzzahlen der letzten 3 abgelaufenen Geschäftsjahre bezogen auf vergleichbare Aufträge und auf den Unternehmensgesamtumsatz Hinweis: Die Angaben zu den vorstehenden Buchstaben a) bis b) sind durch Eigenerklärungen zu erbringen. Für die Abgabe der Eigenerklärungen ist zwingend das vom Auftraggeber zur Verfügung gestellte Dokument 02 -Angebotsvordruck zu verwenden. Möglicherweise geforderte Mindeststandards
Technische & berufliche Leistungsfähigkeit
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Qualitätsmanagement
Zur technischen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen: a) detaillierte Darstellung des Unternehmens und der Kompetenzschwerpunkte Hinweis: Die vorstehenden Angaben a) sind durch Eigenerklärungen zu erbringen. Für die Abgabe der Eigenerklärungen ist zwingend das vom Auftraggeber zur Verfügung gestellte Dokument 02 - Angebotsvordruck zu verwenden. Bei Bietergemeinschaften sind diese Angaben für alle Mitglieder der Bietergemeinschaft vorzulegen. Sofern ein Bewerber zum Nachweis seiner Eignung sich auf andere Unternehmen, insbesondere Subunternehmer beruft, sind entsprechende Angaben auch für diese vorzulegen. Bieter haben im Angebotsvordruck folgende Nachweise in Form von Eigenerklärungen zu erbringen: - Angabe von mindestens 3 Referenzen zu vergleichbaren Aufträgen - Eine Erklärung über die Verfügbarkeit eines technischen Services in Deutschland in weniger als einer Woche (5 Arbeitstage) nach Anfrage - Bestätigung an einem Interesse an einer gemeinsamen Weiterentwicklung von Ätzprozessen.
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
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Vergabe- & Vertragsbedingungen
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Nachforderung fehlender Unterlagen möglich
Der Auftraggeber darf fehlende, unvollständige oder fehlerhafte Unterlagen nachfordern (§ 56 VgV).
- Elektronische Rechnung (eRechnung) verpflichtend
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Verfahrensverlauf
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Wertung
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Vergabeergebnis
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Preiseinschätzung
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