Mehr Details
Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V. · Dresden · Sachsen · Öffentliches Unternehmen (Bund)
Frist vorbei — Zuschlag ansehen →🎯 Persönlicher Treffer-Check
Wie viele Gesundheitswesen & Medizintechnik-Ausschreibungen in Sachsen passen zu Ihrem Unternehmen?
30 Sekunden, keine Anmeldung — wir zeigen Ihnen live, wie viele relevante Vergaben es zuletzt gab.
Passende Ausschreibungen in „Gesundheitswesen & Medizintechnik" automatisch erhalten
14 Tage voller Zugang gratis — tägliche Alerts + KI-Eignungsanalyse · keine Kreditkarte · danach kostenfrei weiter
Beschreibung
The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2. Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer: - delivery at the place of usage according to DPU Dresden (Incoterms 2020) Place of usage: - the machine must be capable of operating in a cleanroom environment (ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment. - the footprint, technical drawings, electrical drawings must be supplied in the documentation - user documentation in English and German - delivery, installation and SAT must be possible until 01 June 2027 - warranty of at least two years - place of performance: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.; Ion Beam Center, building 711/ room 105; Bautzner Landstraße 400; 01328 Dresden - SAT in the cleanroom at the Ion Beam Center, building 711/ room 105. The main body of the tool will be located in a ISO Class 6 service area, the loadlock and control PC will be located in a ISO Class 4 / ISO Class 5 cleanroom - CE-marking
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Ausschreibung für eine Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Anlage für Silizium-Fluorchemie.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
Zuschlagskriterien
Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
-
Performance 50 %Qualität
Criteria in accordance with Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx
-
Preis 50 %
Evaluation price according to Annex 01A
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Anforderungen an Bieter (Eignung)
Was Sie zur Teilnahme nachweisen müssen — wie vom Auftraggeber gefordert.
Technische & berufliche Leistungsfähigkeit
-
Referenzen (vergleichbare Dienstleistungen)
according to the criteria of Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx
-
Referenzen (vergleichbare Lieferungen)
according to the criteria of Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Erfüllen Sie diese Anforderungen?
Diese Ausschreibung verlangt Nachweise zu Technische & berufliche Leistungsfähigkeit. Mit einem kostenlosen Firmenprofil prüfen wir Ihre Eignung gegen diese Anforderungen — und gegen jede neue Ausschreibung. 14 Tage voller Zugang, keine Kreditkarte.
Mit der Anmeldung akzeptieren Sie unsere AGB und bestätigen, die Datenschutzerklärung zur Kenntnis genommen zu haben. AusschreibungsRadar richtet sich ausschließlich an Unternehmer im Sinne von § 14 BGB.
Vergabe- & Vertragsbedingungen
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
-
Nachforderung fehlender Unterlagen möglich
Der Auftraggeber darf fehlende, unvollständige oder fehlerhafte Unterlagen nachfordern (§ 56 VgV).
- Elektronische Rechnung (eRechnung) zugelassen
-
EU-gefördertes Vorhaben
eu-funds
Hinweise zur Nachprüfung & Rügepflicht
Legal remedies pursuant to Section 160 GWB: 1) The public procurement chamber shall only initiate a review procedure upon application; 2) Any company that has an interest in the public contract or concession is authorized to apply and asserts an infringement of its rights pursuant to Section 97 (6) GWB due to non-compliance with procurement regulations. It must be shown that the company has suffered or is at risk of suffering damage as a result of the alleged breach of the procurement regulations; 3) The application is inadmissible if: (1) The applicant has recognized the alleged breach of procurement regulations before submitting the application for review and has not notified the contracting authority of this within a period of 10 calendar days; the expiry of the deadline pursuant to Section 134 (2) GWB remains unaffected, (2) violations of procurement regulations that are recognizable on the basis of the contract notice are not notified to the contracting authority by the expiry of the deadline for application or submission of tenders specified in the contract notice at the latest, (3) violations of procurement regulations that are only recognizable in the procurement documents are not notified to the contracting authority by the expiry of the deadline for application or submission of tenders at the latest, (4) more than 15 calendar days have passed since receipt of the notification from the contracting authority that it does not intend to remedy a complaint. Sentence 1 shall not apply to an application for a declaration of invalidity of the contract pursuant to Section 135 (1) No. 2.
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
-
Ausschreibung Sie sind hier
Angebote werden eingeholt
1 Veröffentlichung
- Frist 28.04.2026 Original-Veröffentlichung aktuell
-
Vergabeergebnis
Auftrag wurde zugeschlagen · 42 Tage nach Fristende
1 Veröffentlichung
Preiseinschätzung
Basierend auf 1.063 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
Ähnliche Ausschreibungen
📬
Passende Ausschreibungen automatisch finden
14 Tage volle KI-Analyse + tägliche Alerts gratis testen — keine Kreditkarte, danach kostenfrei weiter.
💡 Mehr als wöchentlich? Watchlist ab 9 €/Mo: täglich + Frist-Reminder + Zuschlag-Info →
Personalisiertes Suchprofil einrichten → · Für Einkaufsabteilungen: Rechnung per Überweisung →