Prior Information Notice – Sputter Deposition
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Beschreibung
The Ferdinand-Braun-Institut (FBH) plans to procure a sputter deposition system within the framework of the EU-funded APECS programme. The system will be used for the deposition of metallic and insulating thin films on semiconductor wafers with diameters of up to 200 mm. It is intended to support advanced heterogeneous integration technologies, including InP-on-Si (BiCMOS) platforms. The equipment shall enable highly controlled thin-film processes such as metallization, interconnect formation, passivation and barrier layer deposition. A multi-chamber cluster system with integrated cleaning and deposition capabilities is required to ensure high process quality and contamination control. The system will be installed in a cleanroom environment and must be compatible with semiconductor manufacturing requirements. The procurement procedure is planned for 2026.
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: IT & Digitalisierung
Das Wichtigste auf einen Blick
- Beschaffung eines Sputter-Anlagensystems für die Abscheidung dünner Schichten auf Halbleiterwafern.
- System soll für heterogene Integrationstechnologien wie InP-on-Si (BiCMOS) geeignet sein.
- Anforderungen umfassen Mehrkammer-Cluster-System mit Reinigungs- und Abscheidungsfunktionen für hohe Prozessqualität.
- Installation in Reinraumumgebung und Kompatibilität mit Halbleiterfertigungsanforderungen sind zwingend.
- Geplante Vergabe im Jahr 2026 mit einem geschätzten Wert von 4.128.000 EUR.
Das Ferdinand-Braun-Institut plant die Beschaffung eines Sputter-Anlagensystems für die Abscheidung dünner metallischer und isolierender Schichten auf Halbleiterwafern bis 200 mm Durchmesser.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: automatisiert erstellt (Google Gemini) — ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen. Mehr ▾
Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (TED EU). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
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