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200 mm Semi-Automatic RF Probe System for On-Wafer Measurements up to 250 GHz

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Status
Vergeben
Zuschlagswert
189.900 €
Verfahren
Offenes Verfahren
Veröffentlicht
07.10.2026

Vergabe-Ergebnis

🏆 Vergabe in 1 Los alle vergeben
  • Los 1 Vergeben
    200 mm Semi-Automatic RF Probe System for On-Wafer Measurements up to 250 GHz
    🏆 ATV Systems GmbH · Dresden
Auftragnehmer
  • ATV Systems GmbH

Lot-Detail aus Schwester-Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (gleiche procedure_id).

Zuschlagswert 189.900 €
Eingegangene Angebote 1
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Das Wichtigste auf einen Blick

KI-generiert
  • Beschaffung eines semi-automatischen 200 mm RF-Probesystems für Messungen bis 250 GHz.
  • Das System muss eine kontrollierte Trockenatmosphäre für Messungen unterhalb der Umgebungstemperatur bieten.
  • Hohe Präzisionsanforderungen an die XY-, Z- und Theta-Achsen sowie an den Kontaktmechanismus.
  • Automatische Erkennung von Wafergrößen (150 mm, 200 mm) und einzelnen Dies.
  • Der geschätzte Wert beträgt 189.900 EUR.

KI-generierte Zusammenfassung der Bekanntmachung (KI-Transparenz) — maßgeblich ist die Original-Bekanntmachung.

Beschreibung

  • Semi-automated 200 mm probe system for on-wafer measurements - Integrated controlled dry atmosphere to prevent condensation and ice formation during measurements below ambient temperature - System design with a defined interface architecture enabling integration of optional thermal chucks through standardized mechanical, electrical, and software interfaces - Automatic wafer size recognition (150 mm, 200 mm wafers and individual dies down to 5 × 5 mm) - Precision XY stage: minimum travel range 310 × 310 mm, repeatability < 1.0 µm, accuracy < 2.0 µm - Precision Z stage: minimum travel range 30 mm, repeatability < 1.0 µm, accuracy < 2.0 µm - Theta axis: ±5°, resolution ? 0.0001° - Controlled contact mechanism with repeatability ? 1 µm - Integrated vibration isolation and leveling table - Central operator console for control of all axes and system functions - Integrated keyboard and mouse tray - Power supply: 100-240 V AC, 50/60 Hz

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Zuschlagskriterien

Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.

Los 1
  • Technische/technologische Bewertung 60 %
    Qualität
  • Preis 40 %

Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.

Vergabe- & Vertragsbedingungen

Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.

  • EU-gefördertes Vorhaben

    eu-funds

Hinweise zur Nachprüfung & Rügepflicht

Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung oder in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der Frist der Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Im Übrigen sind Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Ein Nachprüfungsantrag ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der zuständigen Vergabekammer zu stellen (§ 160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)). Die o. a. Fristen gelten nicht, wenn der Auftraggeber gemäß § 135 Absatz 1 Nr. 2 GWB den Auftrag ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist. Setzt sich ein Auftraggeber über die Unwirksamkeit eines geschlossenen Vertrages hinweg, indem er die Informations und Wartepflicht missachtet (§ 134 GWB) oder ohne vorherige Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist, kann die Unwirksamkeit nur festgestellt werden, wenn sie im Nachprüfungsverfahren innerhalb von 30 Kalendertagen nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrages, jedoch nicht später als 6 Monate nach Vertragsschluss geltend gemacht worden ist. Hat der Auftraggeber die Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union bekannt gemacht, endet die Frist 30 Kalendertage nach Veröffentlichung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union (§135 GWB).

Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.

Verfahrensverlauf

📅 .ics

Vollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.

  1. Ausschreibung oev

    Angebote werden eingeholt

  2. Vergabeergebnis Sie sind hier

    Auftrag wurde zugeschlagen · 75 Tage nach Fristende

    Auftragnehmer ATV Systems GmbH
    Zuschlagswert 189.900 €

    1 Veröffentlichung

    • 07.10.2026 Original-Veröffentlichung · in TED EU + oev aktuell

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189.900 €
Zuschlagswert

Vergabenummer IHP-2026-033
Verfahrensart Offenes Verfahren
Auftragsart Lieferauftrag
Schwierigkeit Mittel KI
Veröffentlicht 07.10.2026
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Markt-Insights

Ø Zuschlagsdauer 15 Tage
Schätzwert-Abweichung -3%
KMU-Bieteranteil 31%

Preis-Kalkulator

Historische Preisdaten für diese Branche
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Vollständige Daten

Quelle: TED EU · 5/5 Kernfelder

Zuletzt geprüft am 23.10.2026

Daten korrigieren →

Quelle: TED EU

Diese Bekanntmachung stammt aus der EU-Datenbank Tenders Electronic Daily. Reduzierter Datenumfang (Titel, Auftraggeber, CPV, Frist). Für vollständige Dokumente und alle Sprachen:

Diese Vergabe ist abgeschlossen. Aktuelle, noch offene Ausschreibungen in dieser Branche:

Vergabestelle

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik