Frist abgelaufen Bildung & Forschung Bürgschaft erforderlich
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Lieferauftrag EU-Oberschwelle
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ALD-Anlage

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. · Jena · Thüringen · Nachgeordnete Behörde

Angebotsfrist
01.09.2026, 13:10 Uhr
abgelaufen
Geschätzter Wert
461.344 €
Verfahren
Offenes Verfahren
Veröffentlicht
26.08.2026
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Beschreibung

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Änderungen am Verfahren

2 Aktualisierungen

Der Auftraggeber hat dieses Verfahren mehrfach aktualisiert — chronologisch, neueste zuerst.

  1. ✏️ Änderung

    Ergänzende Informationen

  2. 📅 Frist verlängert

    Verlängerung der Angebotsfrist bis 25.08.2026, 13:00 Uhr

Maßgeblich ist stets die Original-Bekanntmachung beim Auftraggeber. Vollständiger Verfahrensverlauf →

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KI-Kurzfassung der Anforderungen

KI-generiert

Branche: Bildung & Forschung

Das Wichtigste auf einen Blick

  • Beschaffung einer PE-ALD-Anlage für leitfähige, halbleitende und dielektrische Schichten inklusive Steuer-PC und Software.
  • Das System muss Multilagen-Prozesse ohne Vakuumunterbrechung ermöglichen.
  • Es handelt sich um ein offenes Verfahren zur Lieferung von Laborausrüstung.
  • Die Anlage muss für Substratgrößen vom Einzelchipformat bis zu 150 mm Wafern ausgelegt sein.

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien beschafft eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) für Dünnschichtabscheidungen mit einem geschätzten Auftragswert von ca. 461.344 EUR.

Hinweis nach EU AI Act Art. 50: automatisiert von einem KI-Modell erstellt — ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen. Mehr ▾

Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.

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📅 Laufzeit endet am 05.09.2027

Diese Ausschreibung ist abgeschlossen. Laut der Zuschlags-Bekanntmachung zu diesem Verfahren läuft der vergebene Auftrag bis zum genannten Datum. Ob der Auftraggeber danach erneut vergibt, entscheidet allein er; die Angabe ist ein Anhaltspunkt für Ihre Vorbereitung, keine angekündigte Ausschreibung.

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Zuschlagskriterien

Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.

Los 1 · ALD-Anlage
  • technische Spezifikationen 70 %
    Qualität
  • Preis 30 %

Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.

Anforderungen an Bieter (Eignung)

Was Sie zur Teilnahme nachweisen müssen — wie vom Auftraggeber gefordert.

Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit

  • Durchschnittlicher Jahresumsatz

    s. Eigenerklärung

Technische & berufliche Leistungsfähigkeit

  • Referenzen (vergleichbare Lieferungen)

    Als Nachweis zu den bestehenden Erfahrungen sind mind. 2 Referenzen, vorzugsweise aus dem Forschungsumfeld aus den vergangenen 3 Jahren zusammen mit dem Angebot einzureichen.

Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.

Solche Anforderungen kommen wieder

Hier wurden Nachweise zu Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit, Technische & berufliche Leistungsfähigkeit verlangt. Für diese Ausschreibung ist die Frist vorbei — mit einem kostenlosen Suchprofil bekommen Sie vergleichbare Ausschreibungen am Tag der Veröffentlichung per E-Mail, statt sie Wochen später über eine Suchmaschine zu finden.

Vergabe- & Vertragsbedingungen

Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.

  • Nachforderung teilweise möglich

    Bestimmte fehlende Unterlagen dürfen nachgefordert werden — nicht alle.

  • Elektronische Rechnung (eRechnung) verpflichtend
  • Besondere Bedingungen für die Auftragsausführung

    Der Auftrag ist an zusätzliche Ausführungsbedingungen geknüpft (§ 128 GWB) — Details in den Vergabeunterlagen.

  • EU-gefördertes Vorhaben

    eu-funds

Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.

Verfahrensverlauf

📅 .ics

Vollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.

  1. Ausschreibung Sie sind hier

    Angebote werden eingeholt

    Geschätzter Wert 461.344 €
  2. Vergabeergebnis TED EU

    Auftrag wurde zugeschlagen · 21 Tage nach Fristende

    Auftragnehmer SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
    Zuschlagswert 461.344 €

Preiseinschätzung

Basierend auf 1.332 vergleichbaren Vergabeergebnissen:

Unteres Quartil 200.835 €
Median 305.590 €
Oberes Quartil 493.227 €

Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.

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Vergabeunterlagen

Beim Original-Portal — die Angebotsfrist ist abgelaufen, die Unterlagen sind dort ggf. nicht mehr hinterlegt.

461.344 €
Geschätzter Wert
entspricht Branchen-Median

Angebotsfrist 01.09.2026, 13:10 Uhr (abgelaufen)
Vergabenummer 01.26.O.00
Verfahrensart Offenes Verfahren
Auftragsart Lieferauftrag
Schwierigkeit Mittel KI
Standort Jena, Thüringen
Veröffentlicht 26.08.2026
CPV-Code 38000000
Labor-, optische und Präzisionsgeräte (Was ist das?)
Erfüllungsort Jena
Laufzeit 28.08.2026 – 05.09.2027
Bindefrist (?) 40 Tage
Frist für Rückfragen 14.08.2026
Bieterkommunikation ansehen Fragen & Antworten zum Verfahren im Vergabeportal (oeffentlichevergabe.de) · ggf. archiviert
Nebenangebote nicht zugelassen

Alert für ähnliche Ausschreibungen
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Ø Bieter in der Branche 1.9
Methodik & Datenbasis

Historischer Durchschnitt aus 4.846 vergleichbaren Vergaben — keine Prognose für diese Ausschreibung.


Erfasste Abschluss-Meldungen 89%
Methodik & Datenbasis

Anteil der erfassten Verfahren in Bildung & Forschung mit veröffentlichter Zuschlag-Bekanntmachung. Basis: 15.271 Verfahren. Die tatsächliche Zuschlagsquote liegt typischerweise höher, weil viele Vergabestellen Ergebnisse verspätet oder gar nicht melden.


Markt-Insights

Ø Zuschlagsdauer 15 Tage
Schätzwert-Abweichung -3%
KMU-Bieteranteil 31%

Preis-Kalkulator

Historische Preisdaten für diese Branche in Thüringen
Preis-Kalkulator freischalten →


Vergabeunterlagen erhalten Sie über die in der Bekanntmachung angegebene Vergabeplattform des Auftraggebers Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.. Oberhalb der EU-Schwellenwerte ist die elektronische Einreichung über eVergabe-Plattformen (z. B. Vergabe.NRW, DTVP, evergabe-online.de, HAD) Pflicht.

Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammer Thüringen, Weimar

Hinweis zur Zuständigkeit

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht unbedingt die hier genannte.

Vollständige Daten

Quelle: oeffentlichevergabe.de · 5/5 Kernfelder

Zuletzt geprüft am 29.08.2026

Daten korrigieren →

Quelle: oeffentlichevergabe.de

Diese Ausschreibung ist abgeschlossen (Frist abgelaufen). Der ursprüngliche Eintrag im Vergabeportal der Vergabestelle ist nach Verfahrensende oft nicht mehr abrufbar — die dauerhafte Fassung finden Sie auf oeffentlichevergabe.de: