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ALD-Anlage
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. · Jena · Thüringen · Nachgeordnete Behörde
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Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Änderungen am Verfahren
2 AktualisierungenDer Auftraggeber hat dieses Verfahren mehrfach aktualisiert — chronologisch, neueste zuerst.
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✏️ Änderung
Ergänzende Informationen
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📅 Frist verlängert
Verlängerung der Angebotsfrist bis 25.08.2026, 13:00 Uhr
Maßgeblich ist stets die Original-Bekanntmachung beim Auftraggeber. Vollständiger Verfahrensverlauf →
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Bildung & Forschung
Das Wichtigste auf einen Blick
- Beschaffung einer PE-ALD-Anlage für leitfähige, halbleitende und dielektrische Schichten inklusive Steuer-PC und Software.
- Das System muss Multilagen-Prozesse ohne Vakuumunterbrechung ermöglichen.
- Es handelt sich um ein offenes Verfahren zur Lieferung von Laborausrüstung.
- Die Anlage muss für Substratgrößen vom Einzelchipformat bis zu 150 mm Wafern ausgelegt sein.
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien beschafft eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (PE-ALD) für Dünnschichtabscheidungen mit einem geschätzten Auftragswert von ca. 461.344 EUR.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: automatisiert erstellt (Google Gemini) — ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen. Mehr ▾
Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
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Zuschlagskriterien
Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
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technische Spezifikationen 70 %Qualität
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Preis 30 %
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Anforderungen an Bieter (Eignung)
Was Sie zur Teilnahme nachweisen müssen — wie vom Auftraggeber gefordert.
Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit
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Durchschnittlicher Jahresumsatz
s. Eigenerklärung
Technische & berufliche Leistungsfähigkeit
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Referenzen (vergleichbare Lieferungen)
Als Nachweis zu den bestehenden Erfahrungen sind mind. 2 Referenzen, vorzugsweise aus dem Forschungsumfeld aus den vergangenen 3 Jahren zusammen mit dem Angebot einzureichen.
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Solche Anforderungen kommen wieder
Hier wurden Nachweise zu Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit, Technische & berufliche Leistungsfähigkeit verlangt. Für diese Ausschreibung ist die Frist vorbei — mit einem kostenlosen Suchprofil bekommen Sie vergleichbare Ausschreibungen am Tag der Veröffentlichung per E-Mail, statt sie Wochen später über eine Suchmaschine zu finden.
Mit der Anmeldung akzeptieren Sie unsere AGB und bestätigen, die Datenschutzerklärung zur Kenntnis genommen zu haben. AusschreibungsRadar richtet sich ausschließlich an Unternehmer im Sinne von § 14 BGB.
Vergabe- & Vertragsbedingungen
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
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Nachforderung teilweise möglich
Bestimmte fehlende Unterlagen dürfen nachgefordert werden — nicht alle.
- Elektronische Rechnung (eRechnung) verpflichtend
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Besondere Bedingungen für die Auftragsausführung
Der Auftrag ist an zusätzliche Ausführungsbedingungen geknüpft (§ 128 GWB) — Details in den Vergabeunterlagen.
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EU-gefördertes Vorhaben
eu-funds
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Ausschreibung Sie sind hier
Angebote werden eingeholt
Geschätzter Wert 461.344 €3 Veröffentlichungen
- Frist 01.09.2026 Ergänzende Informationen aktuell
- Frist 25.08.2026 Verlängerung der Angebotsfrist bis 25.08.2026, 13:00 Uhr · in TED EU + oev
- Frist 11.08.2026 Original-Veröffentlichung
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Wertung
Angebote werden geprüft
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Vergabeergebnis
Vergabeergebnis liegt uns nicht vor — beim Auftraggeber direkt erfragen
Preiseinschätzung
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Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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