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Reaktives Ionenätzen
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Erlangen · Bayern · Körperschaft des öffentlichen Rechts (Land)
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Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert.
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: IT & Digitalisierung
Das Wichtigste auf einen Blick
- Beschaffung einer Anlage für reaktives Ionenätzen mit "Faraday Cage Etching" für Wellenleiter.
- Anforderungen umfassen entkoppelte Plasmadichte, Ionenenergie, Helium-Rückseitenkühlung und "Soft Etch".
- Die Anlage muss sowohl Fluor- als auch Sauerstoff-Prozesse ohne Hardware-Umbau ermöglichen.
- Ein "Open Load"-Design ist für die Bearbeitung kleiner Proben auf Carrier-Wafern technisch sinnvoll.
- Der CPV-Code 31720000 deutet auf elektrische Geräte und Komponenten hin, was die technische Natur der Ausschreibung unterstreicht.
Gesucht wird eine Anlage für reaktives Ionenätzen mit spezifischen Fähigkeiten wie "Faraday Cage Etching", entkoppelter Plasmadichte und Ionenenergie, sowie Helium-Rückseitenkühlung.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: automatisiert erstellt (Google Gemini) — ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen. Mehr ▾
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📅 Laufzeit endet am 21.06.2027
Diese Ausschreibung ist abgeschlossen. Laut der Zuschlags-Bekanntmachung zu diesem Verfahren läuft der vergebene Auftrag bis zum genannten Datum. Ob der Auftraggeber danach erneut vergibt, entscheidet allein er; die Angabe ist ein Anhaltspunkt für Ihre Vorbereitung, keine angekündigte Ausschreibung.
Zuschlagskriterien
Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
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Preis 60 %
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Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog 40 %Qualität
https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9/awardcriteria
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Anforderungen an Bieter (Eignung)
Was Sie zur Teilnahme nachweisen müssen — wie vom Auftraggeber gefordert.
Technische & berufliche Leistungsfähigkeit
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Studien- und Forschungseinrichtungen
Applikationsreinraum
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Umweltmanagement-Maßnahmen
Umweltzertifizierung
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Referenzen (vergleichbare Lieferungen)
https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9/suitabilitycriteria
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Solche Anforderungen kommen wieder
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Vergabe- & Vertragsbedingungen
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
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Nachforderung fehlender Unterlagen möglich
Der Auftraggeber darf fehlende, unvollständige oder fehlerhafte Unterlagen nachfordern (§ 56 VgV).
- Elektronische Rechnung (eRechnung) verpflichtend
-
Besondere Bedingungen für die Auftragsausführung
Der Auftrag ist an zusätzliche Ausführungsbedingungen geknüpft (§ 128 GWB) — Details in den Vergabeunterlagen.
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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1 Veröffentlichung
- Frist 11.09.2026 Original-Veröffentlichung aktuell
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Vergabeergebnis
Auftrag wurde zugeschlagen · 12 Tage nach Fristende
Auftragnehmer Oxford Instruments GmbH1 Veröffentlichung
Preiseinschätzung
Basierend auf 201 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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