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Reaktives Ionenätzen
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg · Erlangen · Bayern · Körperschaft des öffentlichen Rechts (Land)
Vergabe-Ergebnis
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Los 1 VergebenReaktives Ionenätzen🏆 Oxford Instruments GmbH · Wiesbaden
- Oxford Instruments GmbH · Wiesbaden
Hinweis: Nicht alle Kerndaten wurden publiziert — die Vergabestelle hat diese Bekanntmachung ohne Vertragswert veröffentlicht.
Das Wichtigste auf einen Blick
KI-generiert- Beschaffung einer Anlage für reaktives Ionenätzen (Faraday Cage Etching).
- Anforderungen umfassen spezifische Ätzregime, Helium-Rückseitenkühlung und "Soft Etch"-Fähigkeiten.
- Notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse.
- Ein "Open Load"-Design wird für die Bearbeitung kleiner Proben als technisch sinnvoll erachtet.
- Der CPV-Code 31720000 deutet auf elektrische Ausrüstungen und Bauteile hin, was die technische Natur der Ausschreibung unterstreicht.
KI-generierte Zusammenfassung der Bekanntmachung (KI-Transparenz) — maßgeblich ist die Original-Bekanntmachung.
Beschreibung
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert.
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Laut Bekanntmachung läuft dieser Auftrag bis zum genannten Datum. Ob der Auftraggeber danach erneut vergibt, entscheidet allein er; die Angabe ist ein Anhaltspunkt für Ihre Vorbereitung, keine angekündigte Ausschreibung.
Zuschlagskriterien
Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
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Preis 60 %
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Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog 40 %Qualität
https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9/awardcriteria
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Eingegangene Angebote
Dies sind die je Los eingegangenen Angebotswerte. Wer den Zuschlag erhalten hat, steht im Vergabe-Ergebnis oben bzw. im Vergabe-Status (Sidebar) — die einzelnen Angebote sind in der Bekanntmachung jedoch keinem namentlichen Bieter zugeordnet.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Ausschreibung
Angebote werden eingeholt
1 Veröffentlichung
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Auftrag wurde zugeschlagen · 12 Tage nach Fristende
Auftragnehmer Oxford Instruments GmbH1 Veröffentlichung
- 23.09.2026 Original-Veröffentlichung aktuell
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Preiseinschätzung
Basierend auf 201 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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