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Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. · Erlangen · Bayern · Öffentliches Unternehmen

Status
Vergeben
Auftragswert
nicht veröffentlicht
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Veröffentlicht
08.07.2026

Vergabe-Ergebnis

🏆 Vergabe in 1 Los alle vergeben
  • Los 1 Vergeben
    Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers
    🏆 Scia Systems GmbH · Chemnitz
Auftragnehmer
  • Scia Systems GmbH · Chemnitz
Eingegangene Angebote 1
Zuschlagsdatum 02.07.2026

Hinweis: Nicht alle Kerndaten wurden publiziert — die Vergabestelle hat diese Bekanntmachung ohne Vertragswert veröffentlicht.

⚡

Das Wichtigste auf einen Blick

KI-generiert
  • Beschaffung eines Ion-Beam-Etching-Prozesswerkzeugs für 300-mm-Wafer.
  • Anforderungen an geringe Metallkontamination und Partikelgenerierung sind zu erfüllen.
  • Einsatz in einer Reinraumumgebung der Klasse 1000 (EN ISO 14644-1 Klasse 6).
  • Verfahrensart ist ein nicht offenes Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb.

KI-generierte Zusammenfassung der Bekanntmachung (KI-Transparenz) — maßgeblich ist die Original-Bekanntmachung.

Beschreibung

The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards.

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Zuschlagskriterien

Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.

Los 1 · Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers
  • Qualitätskriterium 65 Pkt.
    Qualität

    Technische Ausführung

  • Preiskriterium 35 Pkt.
    Preis

    Preis

Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.

Vergabe- & Vertragsbedingungen

Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.

Hinweise zur Nachprüfung & Rügepflicht

(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.

Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.

Eingegangene Angebote

Dies sind die je Los eingegangenen Angebotswerte. Wer den Zuschlag erhalten hat, steht im Vergabe-Ergebnis oben bzw. im Vergabe-Status (Sidebar) — die einzelnen Angebote sind in der Bekanntmachung jedoch keinem namentlichen Bieter zugeordnet.

Los 1 Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers
Scia Systems GmbH Wert nicht veröffentlicht

Verfahrensverlauf

📅 .ics

Vollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.

  1. Ausschreibung

    Angebote werden eingeholt

    1 Veröffentlichung

  2. Vergabeergebnis Sie sind hier

    Auftrag wurde zugeschlagen · 110 Tage nach Fristende

    Auftragnehmer Scia Systems GmbH

    1 Veröffentlichung

    • 08.07.2026 Original-Veröffentlichung aktuell

Preiseinschätzung

Basierend auf 57 vergleichbaren Vergabeergebnissen:

Unteres Quartil 214.500 €
Median 342.500 €
Oberes Quartil 500.000 €

Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.

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Stammdaten
Vergabenummer PR1066197 (brueckne)
Verfahrensart Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Auftragsart Lieferauftrag
Schwierigkeit Mittel KI
Auftraggeber Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Standort Erlangen, Bayern
Veröffentlicht 08.07.2026
CPV-Code 42900000
Industrie- und Baumaschinen (Was ist das?)
Angebote 1
entspricht Branchen-Schnitt (Ø 2,2)
Erfüllungsort Dresden, Kreisfreie Stadt
Bieterkommunikation ansehen Fragen & Antworten zum Verfahren im Vergabeportal (oeffentlichevergabe.de) · ggf. archiviert
Bieter (1)
Scia Systems GmbH · Chemnitz
Alert für ähnliche Ausschreibungen
CSV Export →
Auftragnehmer (?)
Scia Systems GmbH
Vertrag 02.07.2026
Ø Bieter in der Branche 2.2
Methodik & Datenbasis

Historischer Durchschnitt aus 24.268 vergleichbaren Vergaben — keine Prognose für diese Ausschreibung.

Erfasste Abschluss-Meldungen 90%
Methodik & Datenbasis

Anteil der erfassten Verfahren in IT & Digitalisierung mit veröffentlichter Zuschlag-Bekanntmachung. Basis: 20.070 Verfahren. Die tatsächliche Zuschlagsquote liegt typischerweise höher, weil viele Vergabestellen Ergebnisse verspätet oder gar nicht melden.

Markt-Insights

Ø Zuschlagsdauer 24 Tage
Schätzwert-Abweichung -2%
KMU-Bieteranteil 31%
Preis-Kalkulator

Historische Preisdaten für diese Branche in Bayern
Preis-Kalkulator freischalten →

Vergabekammer (laut Bekanntmachung)

Vergabekammer des Bundes, 53113

Hinweis zur Zuständigkeit

Angabe aus der TED-Bekanntmachung. Im Streitfall ist die tatsächlich zuständige Vergabekammer nach §§ 155 ff. GWB maßgeblich, nicht unbedingt die hier genannte.

Erweiterte Daten

Quelle: oeffentlichevergabe.de · 4/5 Kernfelder

Nicht in der Bekanntmachung: Zuschlagswert

Zuletzt geprüft am 26.07.2026

Daten korrigieren →

Quelle: oeffentlichevergabe.de

Diese Ausschreibung ist abgeschlossen (Vergeben). Der ursprüngliche Eintrag im Vergabeportal der Vergabestelle ist nach Verfahrensende oft nicht mehr abrufbar — die dauerhafte Fassung finden Sie auf oeffentlichevergabe.de:

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Diese Vergabe ist abgeschlossen. Aktuelle, noch offene Ausschreibungen in dieser Branche:

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Vergabestelle

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. · Erlangen

✉ einkauf@iis.fraunhofer.de
☎ +49 91317762230

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